【摘 要】
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在下一代的VLSI的开发中,将会进行很激烈的竞争,而超微细加工技术作为最基本的技术发展趋向更高。日立公司开发用于制作更超微细图形的新技术“SPACE”,获得了0.1μm的分辨
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在下一代的VLSI的开发中,将会进行很激烈的竞争,而超微细加工技术作为最基本的技术发展趋向更高。日立公司开发用于制作更超微细图形的新技术“SPACE”,获得了0.1μm的分辨率的图形,已在12月进行的电子通信学会/半导体晶体管研讨会上发表了。
In the next generation of VLSI development, there will be fierce competition, and ultra-fine processing technology as the most basic technology development trend is higher. Hitachi developed SPACE, a new technology for producing ultra-fine patterns, and obtained a resolution of 0.1 μm, which was presented at the December Electronics and Communications Society / Semiconductor Transistor Symposium.
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