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提出一种结构简单的显微物镜波面像差测定干涉仪。该仪器可以测定各种倍率物镜轴上、轴外多种波长的波面像差等光学性能参数。并分析了仪器的系统误差。
一种简单的显微物镜波面像差测定干涉仪
【摘 要】
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提出一种结构简单的显微物镜波面像差测定干涉仪。该仪器可以测定各种倍率物镜轴上、轴外多种波长的波面像差等光学性能参数。并分析了仪器的系统误差。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1987年7期
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