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对新型的二氧化钒薄膜制备技术即无机溶胶－凝胶法，在制膜过程中其膜面容易起泡这个问题进行了研究，发现制备过程中脱水和晶化过程是起泡的主因。经采用３００℃以上的慢速升温烘干处理工艺，避免了在后序真空处理过程中发生脱水和晶化过程，解决了二氧化钒薄膜表面起泡的难题，获得了表面状态很好的二氧化钒薄膜。
二氧化钒薄膜表面起泡的起因和防止
【摘 要】
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对新型的二氧化钒薄膜制备技术即无机溶胶－凝胶法，在制膜过程中其膜面容易起泡这个问题进行了研究，发现制备过程中脱水和晶化过程是起泡的主因。经采用３００℃以上的慢速升温烘干处理
【机 构】
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西北工业大学
【出 处】
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西北工业大学学报
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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航空科学基金
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