【摘 要】
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优先选用硅材料，用微米级制造技术制作而成的微机械传感器，简称微传感器。它与传统传感器相比，有许多特征和技术优势。微小是其特征之一，其敏感元件的尺寸是微米级甚至亚微米级。
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优先选用硅材料，用微米级制造技术制作而成的微机械传感器，简称微传感器。它与传统传感器相比，有许多特征和技术优势。微小是其特征之一，其敏感元件的尺寸是微米级甚至亚微米级。微传感器的体积只有传统传感器的几十分之一乃至几百分之一，重量从千克级下降到几十克乃至几
Preference is given to the use of silicon materials, micro-manufacturing technology made of micro-mechanical sensors, referred to as micro-sensor. Compared with traditional sensors, it has many features and technical advantages. Slight is one of its characteristics, the size of the sensitive components are micron level or sub-micron level. The size of the micro-sensor is only a few tenths of traditional sensors and even a few hundredths, the weight dropped from a few kilograms to a few grams and even a few
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