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以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料，以乙二醇独甲醚为熔剂，采用溶胶凝胶法成功地配制出了ＢａＴｉＯ３溶胶，溶胶清晰稳定，保存时间长。并用ＸＲＤ分析了沉积在Ｓｉ（１００）低阻硅片上的薄膜的结构，发现薄膜在６００℃时结晶状态已良好，文中同时对薄膜的介电性质进行研究，并讨论了退火温度对薄膜介电性质的影响。
BaTiO3薄膜的Sol—gel法制备及其介电特性研究
【摘 要】
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以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料，以乙二醇独甲醚为熔剂，采用溶胶凝胶法成功地配制出了ＢａＴｉＯ３溶胶，溶胶清晰稳定，保存时间长。并用ＸＲＤ分析了沉积在Ｓｉ（１００）低阻硅片上的薄膜的结构，发现薄膜在６００℃时结
【机 构】
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中国科学院新疆物理研究所
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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2000年3期
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