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氮化硅的应力严重制约着它的应用，本文较详细地介绍了ＰＥＣＶＤＳｉｘＮｙ薄膜应力的大小与制备工艺及条件的关系，从而提示能有效地抑制ＳｉｘＮｙ应力的工艺途径。文中给出了大量测试数据，并提供了许多实物照片。
PECVD SixNy应力的研究
【摘 要】
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氮化硅的应力严重制约着它的应用，本文较详细地介绍了ＰＥＣＶＤＳｉｘＮｙ薄膜应力的大小与制备工艺及条件的关系，从而提示能有效地抑制ＳｉｘＮｙ应力的工艺途径。文中给出了大量测试数据，并提供了许多实物照
【机 构】
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中国华晶电子集团公司分立器件事业部,214061
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年5期
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