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【摘 要】
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用脉冲激光沉积在不同条件下制备非晶碳超硬薄膜,研究了非晶碳超硬薄膜的表面形貌、结构、应力、硬度以及能谱等。原子力显微镜和扫描电镜图像显示,薄膜表面平整、致密且光滑
【机 构】
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四川大学原子与分子物理研究所,四川大学原子与分子物理研究所,中国工程物理研究院激光聚变研究中心,中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川大学原子与分子物理研究所,中国工程物理研究院激光聚变研究中心,中
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2007年10期
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