【摘 要】
：
以CF4,CH4和N2为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在不同功率下制备了含氮氟化类金刚石·膜.用俄歇电子能谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱和傅里叶变换红外光谱对
【机 构】
：
中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083中南大学材料科学与工程学院,长沙,410083;中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083;中南大学材料科学与工程学院,长沙,410083;
论文部分内容阅读
以CF4,CH4和N2为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在不同功率下制备了含氮氟化类金刚石·膜.用俄歇电子能谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱和傅里叶变换红外光谱对薄膜的电子结构和化学键进行了表征,并结合高斯分峰拟合方法分析了薄膜中sp2,sp3结构比率.结果表明,制备的薄膜属于类金刚石结构,不同沉积功率下,薄膜内的sp2/sp3值在2.0-9.0之间,随着沉积功率的增加薄膜内sp2的相对含量增加.膜内主要有c-Fx(x=1,2),C-C,C-C 和 C≡N 等化学键.沉积功率增加,C-C基团增加,膜内F的浓度降低,C-F基团减少,薄膜的关联加强,稳定性提高.
其他文献
随着我国经济持续发展,计算机技术应用范围不断拓展,有更多的电力企业已经认识到电力工程审计所占据的地位,也在持续优化审计工作,提升审计质量以及工作效率.本文主要对当前
用热蒸发法制备了SnO2纳米结构,并用光致发光方法研究了其光谱特性.发现有催化剂条件下制备的SnO2纳米带的发光主峰为3·68eV,正对应SnO2纳米晶体的带隙能量;而无催化条件下
利用一种改进后的U形管圆锥泡声致发光装置,研究了乙二醇溶液中圆锥泡声致发光的发光特性.实验结果表明,利用乙二醇溶液可以得到超强的单个发光脉冲,其脉冲宽度可以达到150μ
研制一套大型深部矿井建设模型试验系统,该系统主要由反力架、液压加载系统、测控系统、数据采集系统等组成。反力架采用回字形主框架、可移动式门式反力架和后支撑架,可实现
利用柠檬酸法制备出了Mo-Fe-MgO,Mo-Co-MgO和W-Co-MgO催化剂,在小型流化床中,以Ar气为载气,在1123 K 下催化裂解CH4来制备单壁碳纳米管(SWCNTs).利用透射电子显微镜和拉曼光
随着居民生活水平的不断提高,居民对日常医疗消费的需求也不断增加,社区卫生服务机构作为最贴近居民生活的就医服务机构,在满足基础医疗服务的前提下也在不断提升医疗服务范
借助于大数据技术的发展和应用,电力企业内部审计模式逐渐发生转变,有利于内部审计质量的进一步提升.本文首先介绍了电力企业内部审计中大数据技术应用的必要性.其次,通过对