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极低暗电流InGaAs MSM—PD的光电特性研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Javayuyu
【摘 要】
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本文首次采用双重肖特基势垒增强层技术，制作了InGaAsMSMS－PD光电探测器．实际结构表明：具有15nm的P－InP和100nmInP双重势垒增强层的器件极大地减小了暗电流，器件的暗电流均小于10nA
【作 者】
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朱红卫 李同宁 
【机 构】
：
上海交通大学微电子技术研究所,武汉电信器件公司
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
：
1997年1期
【关键词】
：
光电探测器 双重势垒增强层 设计 PhotoelectricitySchottky barrier diodesSemiconducting gallium a 
【基金项目】
：
国家自然科学基金
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本文首次采用双重肖特基势垒增强层技术，制作了InGaAsMSMS－PD光电探测器．实际结构表明：具有15nm的P－InP和100nmInP双重势垒增强层的器件极大地减小了暗电流，器件的暗电流均小于10nA，响应度为0．83A／W，FWHM为70ps，证明这是一种减小MSM－PD暗电流的有效设计方法．
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