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高纯双氧水是半导体生产中不可缺少的配套材料，过去这一产品主要依赖进口，如今这一历史宣告结束。2006年10月24日，国内首家生产高纯电子双氧水企业——苏瑞电子材料有限公司在苏州吴中经济开发区落成投产，主要生产的100×10^-12级别高纯双氧水为200mm-300mmIC企业提供配套。
高纯双氧水厂在苏州落成
【摘 要】
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高纯双氧水是半导体生产中不可缺少的配套材料，过去这一产品主要依赖进口，如今这一历史宣告结束。2006年10月24日，国内首家生产高纯电子双氧水企业——苏瑞电子材料有限公司在苏
【机 构】
：
《电子与封装》通讯员
【出 处】
：
电子与封装
【发表日期】
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2006年12期
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