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为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量，研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心，采用激光照明，结合五步相移算法，获得MEMS器件静态表面的3D形貌图。使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对“冻结”不变的3D形貌。改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相住延时，可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数。本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件。该系统对于离面运动的测量精度可达1nm