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【摘 要】
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据估算，开发300mm硅片制造技术所需的费用为15～ZO亿美元，因此，资金是一大障碍，包括IBM和Intel在内的任何一家公司都不可能在起步阶段投入这么多的资金。此外，相应的设备制造厂商只
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1998年3期
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