离子束辅助蒸发对ZnS,MgF2及Al膜层性能的影响

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通过实验数据证明了离子束辅助蒸发对ZnS,MgF2及Al膜层折射率、牢固度及环境耐受性的影响,并简要分析了产生这些影响的原因。
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