【摘 要】
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金属管壳是集成电路封装中的一种重要形式,其气密性是一项重要的考核指标。国内复杂结构金属外壳的气密性问题没有解决。本文结合一种产品进行了失效分析,结果表明玻璃熔封和玻
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金属管壳是集成电路封装中的一种重要形式,其气密性是一项重要的考核指标。国内复杂结构金属外壳的气密性问题没有解决。本文结合一种产品进行了失效分析,结果表明玻璃熔封和玻璃—金属结合区的质量是影响气密性的关键因素。要解决气密性问题应提高玻璃粉的质量,改进熔封工艺,增加金属的预氧化工序。
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