论文部分内容阅读
叙述了ｉ－ｌｉｎｅ光刻高均匀照明系统的均匀照明原理，以及其具有特殊面形、特殊结构、超光学表面的光学系统光能分布计算模拟的原理、方法。作为例子，用编写的程序计算模拟了我们近来设计的一曝光系统几个重要光学表面上具有权重的点列图和光能分布曲线。
i—line光刻高无效照明系统光能分布的计算模拟
【摘 要】
：
叙述了ｉ－ｌｉｎｅ光刻高均匀照明系统的均匀照明原理，以及其具有特殊面形、特殊结构、超光学表面的光学系统光能分布计算模拟的原理、方法。作为例子，用编写的程序计算模拟了我们近来设计
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
：
光电工程
【发表日期】
：
1996年2期
【基金项目】
：
中国科学院“八·五”重大项目
其他文献
SANGSHIN—SK DX800 PE—RT地暖管，圆型、椭圆型阀体（防火、通风系列），DNBLSR（M）满液式系列地源热泵空调机组（螺杆式），睿泉系列空气能热水机，ACTIVAL 带流量测量控制功能的电动阀.
地源热泵技术是利用地下的土壤．地表水或地下水温。通过消耗少量的电能．在冬天把低位热源中的热量转移到需要供热或加温的地方，在夏天可以将室内的余热转移到低位热源中，达到降温
基于过去40年对香港贫穷状况的研究,文章论述了香港市民对贫穷的看法以及他们对穷人的态度。文章讨论了三种量度和计算贫穷的方法,探讨了贫穷的不同定义。在论述穷人的主体之
随着二语习得、心理学和社会心理学研究的发展尤其是计算机技术的广泛应用，语言教学正从以教师为中心转变为以学生为中心。本论文旨在调查英语教师在多媒体教室的作用，以帮助学
据报道，为协助应对日益严峻的沿海浅水水域的水雷爆炸威协（如港口），并加强全球航运安全性，BAE系统公司推出了首艘自主无人潜航器来监视和处理新的威协。
目的:探讨血管紧张素Ⅱ-1受体自身抗体在原发性醛固酮增多症患者血清中的表达情况,初步分析其表达的意义。方法:收集厦门大学附属第一医院泌尿外科2015年3月-2016年3月原发性
建立了纯方位系统TMA四维状态的最小二乘模型,详细给出了非线性最小二乘算法的迭代公式,分析了非线性最小二乘模型、线性最小二乘模型可解的必要条件,以及非线性最小二乘模型
机械压力机是金属板材成形制造的主要设备。近年来,新一代高强度冲压材料、复合冲压材料投入使用,冲压产品形状日趋复杂,用户对冲压产品附加值的需求日益增长,社会对原材料和
全面建设小康社会需要建立健全现代产权制度,需要保护社会主义社会的合法的私有财产。文章主要从经济哲学角度论述了全面建设小康社会进程中关于保护私有财产的问题。 社
香港长期以来都是英语、粤语和普通话三语并行的多语言社会。在过去的五十年间,港英政府和特区政府都曾就语言政策进行多次改革,并因此先后于1968年、1978年及1999年引发了三