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论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理，并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针，它利用微探针表面向以射波与反向点衍射波之间的干涉来检测微探针的形变，其纵向分辨率达到了０．０１ｎｍ。
一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针
【摘 要】
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论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理，并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针，它利用微探针表面向以射波与反向点衍射波之间的干
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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