【摘 要】
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清洁生产区域的压差控制是对清洁度进行有效衡量的主要指标,各个区域的等级要求不同、静压差存在差异,只有形成良好的压力梯度,才能使得清洁气流按照要求流动,从清洁度级别很
【机 构】
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清洁生产区域的压差控制是对清洁度进行有效衡量的主要指标,各个区域的等级要求不同、静压差存在差异,只有形成良好的压力梯度,才能使得清洁气流按照要求流动,从清洁度级别很高的区域向着清洁度级别较低的区域形成气流方向.但是,目前在清洁生产区域经常受到一些因素的影响出现压差控制的问题,不能保证压差的合理管理,必须要结合实际情况增强压差的自控效果,保证清洁生产区域的压差符合标准.
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