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在制造行业，质量是企业的生命，也是一切工作的根本，将统计技术运用于质量管理，是目前国际上制造行业较为流行的科学管理方法。本文以本单位的实际运用为例，介绍了运用统计过程控制方法对半导体生产线进行质量管理的一种实践。
统计过程控制技术在半导体生产中的应用
【摘 要】
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在制造行业，质量是企业的生命，也是一切工作的根本，将统计技术运用于质量管理，是目前国际上制造行业较为流行的科学管理方法。本文以本单位的实际运用为例，介绍了运用统计过程控制
【机 构】
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中科院微电子中心
【出 处】
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电子标准化与质量
【发表日期】
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1999年3期
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