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用磁控阴极等离子体溅射技术在云母基底上制做镀膜锰铜压阻计。5—56GPa冲击应力的标定实验表明,该计的压阻性能稳定。压阻系数的拟合式为ps(GPa)=-0.14+90.63(△R/R0)+10.81(△R/R0)2-7.64(△R/R0)2式中R0为锰铜计初始电阻,△R为受压时的电阻变化值。