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通过有限元法分析膜厚均匀性,提出一种提高DWDM镀膜有效面积的方法--首先找到对蒸发膜料发射特性n最不敏感的镀膜机基板高度h,然后加入挡板修正膜厚均匀性,通过该方法,可使镀膜有效面积提高数十倍.并讨论了挡板加工精度对膜厚均匀性的影响.
一种提高DWDM干涉滤光片镀膜有效面积的方法
【摘 要】
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通过有限元法分析膜厚均匀性,提出一种提高DWDM镀膜有效面积的方法--首先找到对蒸发膜料发射特性n最不敏感的镀膜机基板高度h,然后加入挡板修正膜厚均匀性,通过该方法,可使镀
【机 构】
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四川大学电子信息学院,西南技术物理研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2003年6期
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