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弹道电子发射显微术能够对金属／半导体等界面体系进行直接，实时及无损的探测，并且具有纳米级空间分辨率，文章介绍了ＢＥＥＭ的基本原理，关键技术及其应用，并给出了有关实验结果。
弹道电子发射显微术及其应用
【摘 要】
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弹道电子发射显微术能够对金属／半导体等界面体系进行直接，实时及无损的探测，并且具有纳米级空间分辨率，文章介绍了ＢＥＥＭ的基本原理，关键技术及其应用，并给出了有关实验结果。
【机 构】
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中国科学院化学研究所
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金,中国科学院重大项目资助
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