【摘 要】
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可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）是一种具有高灵敏度、高分辨率和快速响应等特点的气体测量技术,已广泛用于大气痕量气体的测量以及工业有毒有害废气诊断和天然气泄漏检测。分
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光学与技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（50534050）, 中国科学院知识创新项目（KJCX2-SW-W27）资助课题
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可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）是一种具有高灵敏度、高分辨率和快速响应等特点的气体测量技术,已广泛用于大气痕量气体的测量以及工业有毒有害废气诊断和天然气泄漏检测。分布反馈式（DFB）激光器具有窄线宽和可调谐特性,并且能够精确让输出波长扫描单根气体吸收线,使得TDLAS技术能实现高灵敏气体浓度检测。介绍了在线式波长调制二次谐波（WMS-SH）气体检测技术,讨论了基于最小二乘法气体浓度反演算法,通过修正式加权滑动平均滤波对浓度信号进行了数字滤波处理,系统实现了不大于1 s的系统响应时间,提高了信噪比和系
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