【摘 要】
：
为了优化镁铟锡氧薄膜晶体管（MITO-TFT）的性能,采用磁控溅射法制备MITO-TFT并分别研究了退火温度和退火气氛（O2流量）对器件性能的影响。实验结果表明,O2流量为400 cm^3/min、退火
论文部分内容阅读
为了优化镁铟锡氧薄膜晶体管（MITO-TFT）的性能,采用磁控溅射法制备MITO-TFT并分别研究了退火温度和退火气氛（O2流量）对器件性能的影响。实验结果表明,O2流量为400 cm^3/min、退火温度为750℃的MITO薄膜为非晶态,且其对应薄膜晶体管有最佳性能,其饱和迁移率为12.66 cm^2/（V·s）,阈值电压为0.8 V,开关比达到10^7。适当的退火处理可以有效减少缺陷与界面态密度,并提高器件性能。
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
1.研究背景与目的食管癌(Esophageal carcinoma,EC)是我国最常见的六大恶性肿瘤之一,其中食道鳞状细胞癌(Esophageal squamous cell carcinoma,ESCC)是最常见的一种组织学类
德兴铜矿矿山酸性废水中sO24-含量大,如采用常规的石灰中和法,中和过程中产生的硫酸钙结垢严重,给工艺运行造成很多困难.利用选矿生产中产生的尾矿溢流液,采用二段中和工艺,
<正>葡萄营养价值很高,可制成葡萄汁、葡萄干和葡萄酒。粒大、皮厚、汁少,皮肉易分离,味道酸甜可口。耐贮运的欧亚种葡萄又称为提子,一般成簇生长,有黄绿色、红色、黑蓝色或