【摘 要】
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报道了自行设计的将二维Ｄａｍｍａｎｎ光栅和Ｆｒｅｓｎｅｌ波带板集成为一体的同时具有分束和聚焦功能的二元位相型光分束器，并用等离子体增强化学汽相淀积法（ＰＥＣＶＤ）制备的非晶氨化硅（ａ－ＳｉＮｘ：Ｈ）薄膜制作了这样的元件，成功地
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报道了自行设计的将二维Ｄａｍｍａｎｎ光栅和Ｆｒｅｓｎｅｌ波带板集成为一体的同时具有分束和聚焦功能的二元位相型光分束器，并用等离子体增强化学汽相淀积法（ＰＥＣＶＤ）制备的非晶氨化硅（ａ－ＳｉＮｘ：Ｈ）薄膜制作了这样的元件，成功地实现了设计的功能，分束阵列为３×３，焦距１８ｃｍ，分束后的光强分布相对误差小于５％．
Binary phase-split optical beam splitters with the function of beam splitting and focusing integrated with two-dimensional Dammann grating and Fresnel waveband are designed and reported by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) Of amorphous silicon nitride (a-SiNx: H) film made of such elements, the successful realization of the design function, the beam splitter array of 3 × 3, the focal length of 18cm, the relative light intensity distribution after beam splitting error is less than 5 %.
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