【摘 要】
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日本尼康公司开发出与64M DRAM和256M DRAM相配套的准分子步进器“尼康缩小投影型曝光装置”。该装置采用准分子激光器作光源,以22mm~2的曝光范围,实现了0.3μm以下的高分辨
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日本尼康公司开发出与64M DRAM和256M DRAM相配套的准分子步进器“尼康缩小投影型曝光装置”。该装置采用准分子激光器作光源,以22mm~2的曝光范围,实现了0.3μm以下的高分辨率。
Nikon, Japan, has developed the “Nikon Reduced Projection Exposure Unit”, an excimer stepper that is compatible with 64M DRAM and 256M DRAM. The device uses an excimer laser as the light source, with a 22mm ~ 2 exposure range, to achieve high resolution of 0.3μm or less.
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