论文部分内容阅读
Quanta 400F扫描电镜为常规的大型精密仪器,在运行过程中常常会出现各种设备故障。做好扫描电镜日常管理工作,可提高其各部件的使用寿命。主要介绍了该扫描电镜一些常见的故障及排除方法,包括冷却循环系统故障和真空系统故障;另外还介绍了扫描电镜易耗损件的保养维护措施,包括灯丝和物镜光阑的保养及维护。