交联型聚甲基丙烯酸酯正性电子束抗蚀剂

• 作 者: E.D.Roberts 顾宜
• 出 处: 电子元件与材料
• 发表日期: 1986年04期
• 关键词: 抗蚀剂 聚甲基丙烯酸酯 交联型 电子束 甲基丙烯酸甲酯 甲基丙烯酸 聚甲基丙烯酸 丙烯酰氯 共聚物 感度

关于交联型聚甲基丙烯酸酯正性电子束抗蚀剂已有报道(1,2)。这种抗蚀剂是由共聚(甲基丙烯酸甲酯—甲基丙烯酰氯)和共聚(甲基丙烯酸甲酯—甲基丙烯酸)两种共

Cross-linked polymethacrylate positive electron beam resists have been reported (1, 2). This resist is a copolymer of (methylmethacrylate-methacryloyl chloride) and copoly (methylmethacrylate-co-methacrylic acid)