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概述了铁电薄膜在非易失存储器中的应用研究现状，将铁电存储器与其他类型存储器进行了比较，针对铁电薄膜在存储器中的应用，探讨了铁电薄膜制备工艺与半导体工艺兼容性、极化疲劳、尺寸效应等几方面的问题，指出了当前研究的重点。
铁电薄膜及其在存储器件中的应用研究现状
【摘 要】
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概述了铁电薄膜在非易失存储器中的应用研究现状，将铁电存储器与其他类型存储器进行了比较，针对铁电薄膜在存储器中的应用，探讨了铁电薄膜制备工艺与半导体工艺兼容性、极化疲劳
【机 构】
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西南科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报：纳米与新材料专辑
【发表日期】
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2009年2期
【基金项目】
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西南科技大学博士研究基金（08zx7111）
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