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【摘 要】
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随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求，数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件（DMD）的无掩模数字灰度投影光刻技
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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国家863计划资助项目（2006AA02Z4D2）
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