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【摘 要】
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近年来,有许多利用非晶硅锗合金(a-Si_(l-x)Ge_x·H)作为长波长光探测器材料的研究报导.p-i-n结构的a-SiGe∶H二极管已成功地用于检测红外光.这表明采用非晶硅薄膜晶体管工艺
【机 构】
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红外教学组
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1993年02期
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