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本文介绍一台自行研制的离子束动态混合装置。该装置与K—200注入机相联,同时用离子束溅射沉积与高能离子轰击相结合的动态混合技术在GCr15钢基体上制出富Ta表面合金层。由TEM分析确证该表面合金已形成非晶相。由电化学腐蚀与磨粒磨损试验表明这种非晶表面合金具有优良的物理化学性能。更多还原
一台离子束动态混合装置
【摘 要】
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本文介绍一台自行研制的离子束动态混合装置。该装置与K—200注入机相联,同时用离子束溅射沉积与高能离子轰击相结合的动态混合技术在GCr15钢基体上制出富Ta表面合金层。由TE
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年4期
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