【摘 要】
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采用XRD ,SEM ,Raman光谱仪等分析检测手段 ,研究了YG1 5硬质合金基体经表面二步法浸蚀后 ,在其表面用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度等。结果表明 :硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量的变化 ,对金刚石薄膜的晶体结构取向、组织形态及化学纯度等有很大影响。CVD沉积温度从 90 0℃降至 80 0℃ ,后一温度下的金刚石薄膜的晶粒尺寸是前一温度下的 15 。沉积
【基金项目】
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湖南省科技厅攻关项目 (0 0GKY1 0 0 7);
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采用XRD ,SEM ,Raman光谱仪等分析检测手段 ,研究了YG1 5硬质合金基体经表面二步法浸蚀后 ,在其表面用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度等。结果表明 :硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量的变化 ,对金刚石薄膜的晶体结构取向、组织形态及化学纯度等有很大影响。CVD沉积温度从 90 0℃降至 80 0℃ ,后一温度下的金刚石薄膜的晶粒尺寸是前一温度下的 15 。沉积温度降低至 70 0℃左右时 ,薄膜的金刚石纯度大大降低
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