【摘 要】
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冷等离子体制备铝的氧化物膜张勇，周坤，曹伟民，文晓刚（中国科学院成都有机化学研究所，成都，６１００４１）氧化铝是一种重要的无机材料，在微电子工业、机械工业及化学工业等方面有着广泛的应用前景
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冷等离子体制备铝的氧化物膜张勇，周坤，曹伟民，文晓刚（中国科学院成都有机化学研究所，成都，６１００４１）氧化铝是一种重要的无机材料，在微电子工业、机械工业及化学工业等方面有着广泛的应用前景。采用冷等离子体制备的氧化铝膜具有独特的性能：采用干法制膜，升...
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