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综述了近年来ＳｉＧｅ体单晶在材料特性，生长方法及应用的研究进展，并展望了该材料的发展前景。
SiGe体单晶的研究进展
【摘 要】
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综述了近年来ＳｉＧｅ体单晶在材料特性，生长方法及应用的研究进展，并展望了该材料的发展前景。
【机 构】
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电子四十六所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1999年6期
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