论文部分内容阅读
根据统计规律，通过对在ＺＹＧＯＭａｘｉｍ．３Ｄ５７００非接触表面轮廓仪上测试 的６种光学元件表面大量的ｒｍｓ数据分析的基础上，认为，在未引入“大”疵病的前提下，被测表面按口径大小和光滑程度取一定的采样区域数京足以表征整个表面的粗糙度程度，无需因采样区域数偏少情疑结果的代表性而添加许多测式区域数。