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【摘 要】
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目的优化钼表面直流磁控溅射镀镍薄膜的工艺,提出后续热处理方法。方法设计正交实验,探究溅射功率、溅射气压、负偏压和沉积时间对镍薄膜沉积速率和附着力的影响,从而优化工
【机 构】
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武汉科技大学
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2015年9期
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