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本文介绍了在离子注入机上使用的去离子水冷却系统的结构、制水和使用效果。
离子注入机的去离子水冷却系统
【摘 要】
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本文介绍了在离子注入机上使用的去离子水冷却系统的结构、制水和使用效果。
【机 构】
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长沙电子部第４８研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1995年3期
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