COS/MOS工艺的发展

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前几年的发展基本上解决了制备互补MOS晶体管特性化单片电路的难题;现在已能大量生产既可靠又经济的COS/MOS集成电路。本文阐述了COS/MOS集成电路的基本设计及工艺及生产这些电路的最新工艺的进展,它们将给固体电路的应用开辟新的途径。 The development of previous years basically solved the difficult problem of preparing monolithic circuits with complementary MOS transistors; it is now possible to mass produce both reliable and economical COS / MOS integrated circuits. This article describes the basic design and process of COS / MOS integrated circuits and the recent advances in the production of these circuits, which will open up new avenues for the application of solid-state circuits.
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