表面计量中触针式仪器的若干进展

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在表面测量中,对于触针式仪器需求相当大,因为触测法对斜率不敏感,测量结果具有高度的逼真性,这使它适用于测量同时含有形状与纹理参数的复杂物体.但是由于它测量速度相对较慢,在某些场合会形成劣势.本文阐明可以通过优化阻尼因数来提高横向移动速度,通过建立能够确定触针是否承受过压的判据,使触针不会引起表面损伤.
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