【摘 要】
：
残余应力直接影响镀膜膜层的稳定性与可靠性.为减小薄膜的残余应力,提高镀膜膜层的可靠性,在不同溅射气压、不同镀膜温度条件下,在熔融石英基底上进行了直流磁控溅射镀金膜试
【机 构】
：
北京航天控制仪器研究所,北京100039;国防大学联合勤务学院,北京100858
论文部分内容阅读
残余应力直接影响镀膜膜层的稳定性与可靠性.为减小薄膜的残余应力,提高镀膜膜层的可靠性,在不同溅射气压、不同镀膜温度条件下,在熔融石英基底上进行了直流磁控溅射镀金膜试验.通过基片曲率法得到薄膜的残余应力,采用激光平面干涉仪对基片的形变进行测试,对不同工艺参数下膜层的残余应力进行分析,并采用扫描电镜对膜层的表面形貌进行测试.通过试验可知,磁控溅射镀膜膜层的残余应力随镀膜温度的升高而升高,在一定工作气压范围内(0.2Pa～0.6Pa)随溅射气压的增加而降低.电镜测试结果表明,常温镀膜晶粒的尺寸约为30nm,180℃镀膜晶粒的尺寸增长至近100nm.镀膜温度越高,薄膜的微观结构越致密.
其他文献
福建省地质灾害具有点多面广的特点,据1991～2006年地质灾害资料及短时强降水的特征分析,地质灾害高发区主要集中在闽西北的中南部地区、闽中地区及闽南南部地区.短时强降
本文对南宁市22家医院的病床、台面、门把、水笼头、听诊器等物表,敷料、棉球等灭菌物品,新洁而灭等消毒液及医护人员手等共356份不同标本进行L型菌污染调查,有134份标本阳性
由于存在严重的模型过拟合问题,传统的城市综合体月度用电量单步预测方法往往不能提供准确的预测结果.提出一种基于多层分解累加原理的城市综合体月度用电量预测方法.该方法
为阐明热障涂层工艺造成的气膜孔堵塞对气膜冷却的影响机理,采用数值模拟方法研究了叶片吸力面在气膜孔堵塞比为0.2、0.5和0.8,吹风比为0.5、1.0、1.5和2.0时的气膜冷却效率
沈颢，中国传媒业一颗不断上升的新星。年仅34岁的他，在入行的13年间，已从一名沉默羞涩的北大毕业生，成长为中国传媒市场化改革进程中最引人注目的先锋之一。 沈颢的迅速成长，恰恰是中国新一代传媒人成长轨迹的生动写照。此前的7年，他在《南方周末》工作，在这个由左方先生、江艺平女士领衔、集结了当时中国一流新闻记者的精锐媒体里，沈颢完成了他最初的职业训练，并很快成长为这个职业记者团队的业务骨干之一。 此
在城市发展经过中,城市建设一定要在社会生产力的支撑下满足人类的生存需求和其他的生活要求.建筑设计是指设计者根据项目正式开展建设活动之前的建筑物建设,该项目的标准和
扦插育苗是葡萄繁殖的重要方法。为加快葡萄育苗进程,生产上普遍采用温床催根育苗法。但什么基质更有利于插条生根呢？我们于１９９８、１９９９两年在昌邑市农业局科技园进行了比较试验。１材料
目的 对雪域康桑藏香、圣康香藏香、康巴藏香、亚青寺藏香、布达拉藏香、印度香等市售6种香中挥发性成分进行定性分析.方法 参照《中国药典》2010年版一部XD挥发油测定法
随着计算机技术和现代信息化的逐渐深入，将数据挖掘方法应用到藏医研究领域。针对藏医血隆病的应用进行了研究，并提出了藏医数据挖掘平台设计概要。在此基础上，提出一种藏医
基于历史运行数据对过热器喷水减温系统特性进行神经网络建模,在不改变机组原过热汽温控制逻辑和PID参数的前提下,采用基于预测模型的前馈补偿和反馈补偿相结合的策略,在控制