Ti扩散势垒对Al/Si/Pd与n—GaAs欧姆接触热稳定性的影响

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利用电子束蒸发依次将Pd,Si和Al淀积在掺杂浓度为2×10<sup>13</sup>cm<sup>-3</sup>的n型GaAs上,可以得到非合金、低阻的欧姆接触。比接触电阻率约为5×10<sup>-6</sup>·cm<sup>2</sup>。但经过高温(410℃),长时间热退火后,样品的表面会出现明显不平整,比接触电阻率会明显增加,在Al和Si/Pd之间加入一层Ti作为扩散势
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