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期刊论文
Be靶制备技术研究
Be靶制备技术研究
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiuxue6
【摘 要】
:
介绍了Be靶制备的电阻加热法、滚轧法、静电振动法、离心沉淀法、聚集束溅射法等。结果显示:电阻加热和滚轧制备自支撑Be靶的厚度范围分别为20-970μg/cm^2和3.8-20μm。
【作 者】
:
许国基
杜英辉
等
【机 构】
:
中国原子能科学研究院核物理研究所
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
制备技术
自支撑Be靶
聚焦束溅射
滚轧
退火
铍靶
电阻加热
静电振动
离心沉淀
selfsuporting Be foils
focused ion be
【基金项目】
:
国家“8 63”高技术项目资助课题 (41 6 3 3 8)
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介绍了Be靶制备的电阻加热法、滚轧法、静电振动法、离心沉淀法、聚集束溅射法等。结果显示:电阻加热和滚轧制备自支撑Be靶的厚度范围分别为20-970μg/cm^2和3.8-20μm。
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