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目的:分析准分子激光系统所发射的能量与整个系统中镜片表面的污染程度之间的关系。方法:以测试PMMA达3.0D所需能量值作分析。结果:通过三个阶段的实验后发现,随着工作时间的增加,镜片表面污染逐渐严重,该系统出光能量逐渐下降,严重时系统无江工作。结论;通过维护和调试后可以减弱或消除镜表面的污染,提高系统的出光能量值,保证该系统正常工作