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【摘 要】
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用卢瑟福背散射/沟道(RBS/Channeling)技术研究了在Al2O3(0001)衬底上用MOCVD方法生长的ZnO薄膜的弹性应变。ZnO薄膜的χmin=5.1%,表明其具有非常好的结晶品质。ZnO薄膜的四
【机 构】
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东华理工大学核工程技术学院,复旦大学现代物理研究所,北京大学物理学院,南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心,抚州
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2007年8期
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