论文部分内容阅读
本文简要介绍了等离子体化学气相沉积的基本原理和几种主要类型的工艺特点，着重介绍了等离子体化学气相沉积在沉积超硬膜方面的新进展，主要包括制备氮化钛类薄膜、立方氮化硼薄膜、类金刚石薄膜及金刚石薄膜。
等离子体化学气相沉积及其在沉积超硬膜方面的应用
【摘 要】
：
本文简要介绍了等离子体化学气相沉积的基本原理和几种主要类型的工艺特点，着重介绍了等离子体化学气相沉积在沉积超硬膜方面的新进展，主要包括制备氮化钛类薄膜、立方氮化硼薄
【机 构】
：
中国科学院电工研究所
【出 处】
：
物理
【发表日期】
：
1992年12期
其他文献
化学束外延是最近几年发展起来的一种新的外延技术．本文在把化学束外延与分子束外延和金属有机物化学气相淀积比较的基础上，介绍了化学束外延的基本原理、生长动力学过程和它的
本文介绍了稀土发光在生命科学研究中的作用，从稀土发光基本知识入手，着重描述了稀土离子发光与生物大分子研究的关系，稀土离子作为荧光探针及荧光标记在生物大分子结构探测与分
为适应市场的需求,我校在财会专业上的设置基本以＂升学＂、＂就业＂为两大办学方向,培养综合型人才,加强应考科目的强化学习以备考,并注重实训教学以适应就业的需要。
市场经济就是法制经济.法制建设是一种制度建设,它可以促进我国的社会主义政治、经济、科技、文化、教育等活动的制度化、规范化.我们要充分利用加入WTO带给我们的机遇与挑战
随着时代的不断发展,我国社会主义经济体制的不断完善,人们日益增长的物质文化需求越来越高,加强教育改革已经成为了当今社会和家庭关注的热点问题。初中化学是众多学科当中
自从发现氧化物高温超导体以来，世界各国竞相研究和开发高温超导电子器件，并力求付诸应用。这些器件可以工作在液氮温区（或用于小型的闭合循环制冷机）．在成本、维修、使用方便等方
Just an hour of exercise a week could preventdepression,a study has found.In the largest ever study of its kind,analysis involving more than 30,000 adults revea
《大学英语教学大纲》明确提出要培养学生一定的翻译能力，并且要求“能借助词典将难度略低于课文的英语短文译成汉语，理解正确，译文达意，译速为每小时300个单词。既要强调掌握和
缺血性脑卒中称为脑血栓或脑梗死，其中脑血栓占脑血管病发病率的70％左右。对此类患者进行系统健康教育并评价其对老年缺血性脑卒中患者的影响，有一定积极意义。2000年6月-2002年