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半导体工业是技术较为先进的高新技术产业,但在生产过程中产生的污染问题,同样不能被忽略,其中,工艺废气污染问题是特别值得关注的。本文针对半导体芯片制造业产生的工艺废气的污染治理及风险防范进行了研究。
半导体制造业工艺废气污染及治理对策研究
【摘 要】
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半导体工业是技术较为先进的高新技术产业,但在生产过程中产生的污染问题,同样不能被忽略,其中,工艺废气污染问题是特别值得关注的。本文针对半导体芯片制造业产生的工艺废气
【机 构】
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上海浦东新区环境保护和市容卫生管理局200135
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2003年04期
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