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采用溶胶-凝胶工艺在石英衬底上制备ZnO：Al（AZO）薄膜，通过不同温度的退火处理，研究了退火对AZO薄膜结构和光致发光特性的影响。XRD图谱表明：所制备的薄膜具有C轴高度择优取向，随着退火温度的升高，（002）峰的强度逐渐增强，同时（002）峰的半高宽逐渐减小，表明晶粒在不断增大。未退火样品的光致发光（PL）谱由361nm附近的紫外带边发射峰和500nm附近的深能级发射峰组成。样品经退火后，以500nm为中心的绿带发射逐渐减弱，而带边发射强度有所增强，并且逐渐红移到366nm附近，与吸收边移动的测试结