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真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用.真空镀膜技术主要有三种形式:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜以及真空离子镀膜.本文主要介绍真空磁控溅射技术及其应用.
磁控溅射技术简介及其应用
【摘 要】
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真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用.真空镀膜技术主要有三种形式:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜以及真空离子镀膜.本文主要介绍真空磁控
【机 构】
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528400,中山凯旋真空科技股份有限公司 广东 中山
【出 处】
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数字化用户
【发表日期】
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2019年16期
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