【摘 要】
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a-CNx：H薄膜具有类金刚石结构特征和广泛应用前景，但是β-C3N4的这种类金刚石结构很难形成。目前很多研究人员转而研究其光学性质，实际上其光学性质也有非常重要的意义。本文概
【机 构】
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西南科技大学 理学院,绵阳,621010西南科技大学 理学院，绵阳 621010; 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，绵阳 621900;
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a-CNx：H薄膜具有类金刚石结构特征和广泛应用前景，但是β-C3N4的这种类金刚石结构很难形成。目前很多研究人员转而研究其光学性质，实际上其光学性质也有非常重要的意义。本文概述了不同研究小组制备的a-CNx：H薄膜，分析其成膜机理。研究薄膜成分对其折射率和光学带隙的影响，并对其相关机理进行总结和讨论。
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