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基于BAK双源蒸发台对蒸发工艺中出现的多层金属边缘分层台阶现象进行探究,分析出各种可能因素并经过推理计算确定了主要原因。模型理论计算与实际测量结果相似度达98%。同时对机台结构做了部分优化改造,彻底解决了蒸发金属薄膜的分层现象,保证了金属化蒸发工艺的镀膜质量。
BAK蒸发台金属薄膜分层台阶现象探究
【摘 要】
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基于BAK双源蒸发台对蒸发工艺中出现的多层金属边缘分层台阶现象进行探究,分析出各种可能因素并经过推理计算确定了主要原因。模型理论计算与实际测量结果相似度达98%。同时对机台结构做了部分优化改造,彻底解决了蒸发金属薄膜的分层现象,保证了金属化蒸发工艺的镀膜质量。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年3期
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